Скачать приложение
Скачать приложение Alibaba.com
Находите товары, общайтесь с поставщиками, управляйте своими заказами и оплачивайте их в приложении Alibaba.com в любое время и в любом месте.
Подробнее

Rf pvd

(56 шт. продукции доступно)

О rf pvd

Типы RF PVD

  • Вакуумные электродуговые испарительные покрытия:

    Вакуумные электродуговые испарительные покрытия, также известные как VAC-покрытия, являются одними из наиболее распространенных типов машин RF PVD. В этих устройствах электроны генерируются электронным пушкой, а затем ускоряются и направляются к целевому материалу магнитным полем. Электронный луч вызывает нагрев и испарение целевого материала. Пар затем проходит через вакуумную камеру и конденсируется на подложке, образуя тонкую пленку.

  • Машины на основе распыления:

    Машины, основанные на распылении, выпускаются в различных вариантах. Например, целевые материалы, используемые в устройствах RF PVD с магнетронным распылением, могут иметь форму пластин, колец или кругов. Кроме того, они могут использовать два целевых материала одновременно, один из которых является металлическим, а другой диэлектрическим. Еще одна возможность - использование смешанного металл-диэлектрического мишени. Как правило, с помощью RF-магнетронного распыления получают тонкопленочные покрытия большой площади с равномерным распределением. Это особенно актуально, когда мишень содержит инертный газ, такой как аргон.

    Рассмотрим, например, машины для распыления с вращающимися цилиндрическими мишенями. В них подложка может быть как неподвижной, так и в непрерывном движении. При непрерывном вращении подложки в качестве держателя подложки обычно используется цилиндрический стакан, хотя допустимы и плоские пластины. Цель - обеспечить равномерное нанесение тонкопленочного покрытия по всей поверхности подложки. В большинстве случаев основная мишень находится внутри ограничивающего цилиндра. При использовании магнетронного распыления для притягивания и удержания плазмы обычно используются цилиндрические магниты.

  • Комбинированные или гибридные модули:

    Комбинированные или гибридные модули - это еще один тип машин, в которых распыление используется в качестве основного процесса PVD, но одновременно интегрируются вторичные процессы для повышения качества пленки. К этим дополнительным процессам относятся химическое осаждение из паровой фазы (CVD), лазерная абляция или испарение. В некоторых случаях RF-магнетронное распыление сочетается с постоянным током DC-3. Преимущества RF-магнетронного распыления - это более высокое отношение площади мишени к подложке и более высокие скорости осаждения. С другой стороны, постоянная плазма DC3 лучше подходит для металлических элементов с низким уровнем истощения.

Технические характеристики и обслуживание RF PVD

Технические характеристики

  • Напряжение: Как правило, для RF PVD используется стандартное напряжение 220 В, которое подается на электромагнитную катушку и блок питания; однако оно может варьироваться, и некоторые модели имеют напряжение около 380 В для большей мощности.
  • Частота: RF-частота PVD варьируется в зависимости от конкретного применения и конструкции системы. Обычно PVD-система работает на частоте 13,56 МГц, которая широко используется для генерации плазмы в вакуумных процессах осаждения.
  • Мощность: Мощность машины RF PVD (физическое осаждение из паровой фазы) может варьироваться в зависимости от конкретной модели и ее предназначения. Однако, как правило, она составляет от 1000 до 2500 Вт. Этот уровень RF-мощности достаточен для генерации и поддержания плазмы, необходимой для процесса нанесения покрытия PVD.
  • Размер камеры PVD: Размер камеры для нанесения покрытия PVD может варьироваться в зависимости от конкретного оборудования и его применения. Однако, как правило, он составляет от 12 дюймов (300 мм) до 36 дюймов (900 мм).
  • Толщина покрытия PVD: Толщина покрытия для RF-PVD (радиочастотного физического осаждения из паровой фазы) может варьироваться в зависимости от конкретного применения, подложки и материала покрытия. Однако, как правило, она составляет от 10 нанометров до нескольких микрометров.

Рекомендации по техническому обслуживанию

  • Регулярная очистка: Проводите пылесосом или протирайте столы, скамейки и другие поверхности, на которые могут попадать материалы.
  • Регулярная проверка оборудования: Всегда убедитесь, что техническое обслуживание оборудования RF PVD проводится своевременно в соответствии с графиком. Это поможет предотвратить непредвиденные сбои, оптимизировать производительность и срок службы оборудования.
  • Замена изнашиваемых деталей: Как правило, используйте стандартные компоненты RF PVD, где это возможно; это означает, что любая деталь, которая может изнашиваться, чтобы обеспечить эффективную работу и бесперебойные процессы нанесения покрытия, а также повысить общую производительность.
  • Смазка: Смазывайте движущиеся части, такие как направляющие и подшипники, смазанные маслом, один или два раза в год, чтобы уменьшить вероятность износа, ослабления и/или трения.

Сценарии применения RF PVD

Применение RF PVD находит применение в различных отраслях промышленности. Технология демонстрирует устойчивый рост на мировом рынке.

  • Покрытия медицинских изделий

    Технология играет огромную роль в повышении биосовместимости и эксплуатационных характеристик медицинских изделий. Такие изделия, как стенты, имплантаты, хирургические инструменты и катетеры, получают преимущества от покрытия RF PVD. Техника улучшает антифрикционные, антибактериальные свойства и взаимодействие с биоматериалами.

  • Оптические покрытия

    PVD используется для осаждения тонких пленок или многослойных стеков на оптические компоненты. К таким компонентам относятся линзы, фильтры, зеркала и разделители луча. Эти покрытия изменяют или улучшают оптические характеристики компонента.

  • Аэрокосмические компоненты

    Технология RF PVD покрывает различные аэрокосмические компоненты. К ним относятся лопатки турбин, детали двигателя и шасси. Покрытия обеспечивают защиту аэрокосмических компонентов от абразивных материалов, коррозии, высокотемпературных оксидов и износа. Кроме того, они не добавляют значительного веса компонентам.

  • Инструменты для обработки материалов

    Покрытия PVD повышают твердость, смазывающие свойства и износостойкость режущего инструмента. К типам инструментов, которые используют RF PVD, относятся фрезы, сверла, пластины и метчики. Покрытие увеличивает срок службы инструмента и повышает его производительность.

  • Производство полупроводников

    RF PVD широко используется в полупроводниковой промышленности для производства интегральных схем и микросхем. Он осаждает металлические слои, диэлектрики и проводящие пленки на полупроводниковые пластины. Эти пленки имеют решающее значение для этапов травления и гальванопокрытия при производстве полупроводников.

  • Автомобильные компоненты

    RF PVD широко используется в автомобильных деталях. Технология покрывает компоненты, такие как детали двигателя, компоненты трансмиссии и седла клапанов. Покрытия повышают износостойкость и снижают трение.

  • Декоративные покрытия

    Покрытия RF PVD используются при оформлении потребительских товаров. Технология покрывает такие изделия, как ювелирные изделия, часы, корпуса электронных устройств и сантехнические приборы. Покрытие улучшает устойчивость к царапинам и долговечность поверхности этих изделий.

  • Упаковочная промышленность

    Покрытия RF PVD помогают улучшить барьерные свойства упаковочных материалов. Это обеспечивает защитные покрытия для стекла, пластика и гибкой упаковки. За счет этого увеличивается срок службы упакованных материалов.

Как выбрать машины RF PVD

Покупатели, работающие в сфере бизнеса, могут использовать следующие советы при выборе подходящей вакуумной машины для нанесения покрытия для своих конкретных потребностей.

  • Требования к исходному материалу

    Убедитесь, что модель машины может создавать покрытие из источника материала. Возьмите, например, машину для нанесения покрытия RF PVD из титана. Она будет создавать покрытие на основе титана. Тем не менее, несмотря на совпадение материалов, характеристики покрытия могут отличаться.

  • Качество покрытия

    Разные машины RF PVD будут создавать покрытия разного качества. В этом случае обратите внимание на параметры процесса, которые можно контролировать. К ним относятся давление, температура и скорость осаждения, чтобы назвать лишь несколько. Также изучите возможности машины по управлению подготовкой поверхности подложки.

  • Объем производства

    Учитывайте объем производства при выборе подходящего устройства для нанесения покрытия RF PVD. Малые системы работают с пакетной обработкой. Хотя они достаточно хороши для мелкосерийного производства, лучше выбрать машину, которая поддерживает необходимый уровень производства. Для больших объемов рассмотрите возможность покупки крупных агрегатов с более высокой степенью автоматизации.

  • Совместимость с подложкой

    Убедитесь, что выбранная машина PVD совместима с подложками, используемыми в вашем бизнесе. Например, некоторые машины RF PVD могут обрабатывать сложные геометрии. Другие хорошо подходят для плоских материалов. Изучите технические характеристики, чтобы узнать о ограничениях по температуре. В случае сомнений, обратитесь к продавцу, чтобы узнать о наиболее подходящей подложке.

  • Стоимость машин

    Обычно бюджетные ограничения влияют на решение покупателя о том, что купить. Однако всегда полезно помнить о долгосрочных эксплуатационных расходах. К ним относятся техническое обслуживание, арендная плата и энергопотребление. Покупка более дешевой машины может в конечном итоге обойтись дороже.

RF PVD Вопросы и ответы

В1: В чем разница между PVD и CVD?

A1: Основное различие между PVD и CVD заключается в методах осаждения. PVD включает в себя физические процессы, а CVD полагается на химические реакции. Кроме того, CVD позволяет наносить покрытия на объекты практически любой формы, что не применимо к PVD.

В2: Каковы тенденции на мировом рынке покрытий PVD?

A2: Мировой рынок покрытий PVD стимулируется быстрой индустриализацией. Рынок расширяется, поскольку режущие инструменты, детали машин и хирургические инструменты широко используются. Более того, ожидается, что мировой рынок покрытий PVD будет расти со среднегодовым темпом роста около 9% в период с 2021 по 2026 год.

В3: Каков ожидаемый срок службы PVD?

A3: Срок службы PVD зависит от различных факторов, таких как условия окружающей среды и техническое обслуживание. Как правило, PVD может прослужить от 10 до 20 лет или более при надлежащем уходе и своевременном техническом обслуживании.

В4: Какова тенденция в области RF-магнетронного распыления?

A4: Рынок метода нанесения покрытия RF-магнетронным распылением быстро расширяется, поскольку растет спрос на тонкие пленки с высоким качеством в различных отраслях, таких как электроника, оптика и технологии солнечной энергии.

X